硅晶片清洗表面活性劑添加量的判定方法

　　在生產(chǎn)和處理硅晶圓時，盤必須絕對潔凈。因此，晶圓的表面處理工藝造成的污染必須要在清潔工序之后去除。為了滿足這些高的清潔度要求，清洗劑的濃度一定要保持在適當(dāng)?shù)臐舛确秶畠?nèi)。

　　成功的清潔工藝有兩個條件：

　　1. 為了達(dá)成所需的清潔效果，清潔劑的濃度需要在規(guī)定范圍內(nèi)。

　　2. 在最后的漂洗過程后，須避免表面活性劑在硅晶圓上殘留。殘留的表面活性劑對后面的處理工藝會造成不利影響。

　　基于實驗數(shù)據(jù)，由于疏于監(jiān)控清潔和漂洗工序中表面活性劑的濃度，表面活性劑經(jīng)常過量。為了消除表面活性劑過量帶來的不利影響，往往要費時費力地增加漂洗工序。

　　動態(tài)表面張力的測量，確保了在特定生產(chǎn)步驟中，表面活性劑濃度的監(jiān)測并達(dá)到最佳濃度。SITA動態(tài)表面張力儀可以精確控制表面活性劑濃度，使表面張力接近最佳值，此手段可節(jié)省大量的表面活性劑，從而去掉多余出的漂洗工序。不僅如此，在最后一道或者倒數(shù)第二道漂洗過程中，對殘留表面活性劑濃度的測試也可預(yù)判清洗質(zhì)量。

　　測量不同表面活性劑濃度的清潔劑

　　用氣泡壓力表面張力儀測動態(tài)表面張力也能幫助我們選擇合適的清潔劑，而高活性、低表面張力的表面活性劑一般能達(dá)到更好的清潔效果。

　　至于監(jiān)控、清洗和漂洗過程，我們推薦您使用便攜式表面張力儀SITA DynoTester來進(jìn)行隨機測量，而SITA ST在線表面張力儀可進(jìn)行自動和可靠的過程監(jiān)控。SITA ST測量清洗池中瞬時表面張力值，然后通過自動計算表面活性劑的消耗量來自動監(jiān)測并添加，控制表面活性劑的濃度在合理范圍。它可實現(xiàn)定時測量指定清洗池的表面張力并自動判斷測量值是否在合理范圍。

　　SITA clean line ST表面張力儀

　　SITA DynoTester+表面張力儀